真空晶體生長爐技術特征

采用先進的控制技術，能精密控制爐內壓力，爐膛內壓力波動?。?/span>

采用動密封技術，能精密控制坩堝移動與旋轉；

采用特殊結構設計，能有效控制籽晶位置；

采用特殊的爐膽結構和加熱器布置，經溫場模擬計算，能有效控制爐內溫場分布；

具備柔性抽真空、爐內分壓控制等功能；

采用先進的隔熱結構和材料，爐膽隔熱性能好、蓄熱少，

采用特殊的高溫紅外測量技術，控溫準確，誤差小。

真空晶體生長爐產品規(guī)格

真空晶體生長爐配置選擇

結構形式：上出料/下出料

爐門鎖緊方式：手動/自動

爐殼材質：內層不銹鋼/全碳鋼/全不銹鋼

保溫材質：高純碳氈/石墨氈/固化氈

加熱器：等靜壓石墨/金屬

熱電偶：C/K/N/S分度號

紅外儀：單比色/雙比色

適于工藝氣氛：N₂/Ar/H₂